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安捷伦气质扩散泵油和前级泵油扩散泵除非您观察到与扩散泵油相关的故障，否则没有必要在一年内换两次扩散泵油。要检查扩散泵油，必须先将 MSD 放空（5975/5973 除外）。因此，检查泵油的时机是为了进行其他维护而已经放空仪器真空时。
安捷伦气质扩散泵油和前级泵油前级泵前级泵中的油应该平均每六个月更换一次，但也可以根据应用情况决定更换。泵油更换后，如果有前级捕集器，则应更换分子筛。 避免接触到泵油。某些样品的残留物可能有毒。用过的油要设当处置。
如何更换安捷伦质谱Agilent5975C 泵油：
1.放空质谱，关掉MS，放气。拔掉MS电源线。2.拆去出口和前级机械泵连接的管子。3.断开电缆连线，移出扩散泵，用铝箔罩好顶部。4 用GC柱箱60°C加热15分钟后，让泵油流入底部的油箱中，移开泵芯。5. 倾倒出泵油。放点二氯甲烷润湿，用布檫干净。(扩散泵油： 6040-0809, 18.5ml X 2)6 更换全部泵油，推荐37ml.(注：更换泵油时，请使用防腐手套和安全眼镜，避免与泵油接触。
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